Soupapes à vide（Type à bride：KF）

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  Vanne d'équerre vide poussé en aluminium, double effet / soufflet joint d´étanchéité, série XLC

  SMC

  [Caractéristiques]
  · Corps en aluminium
  · Température de cuisson uniforme
  · Léger et compact
  · Faible dégazage
  · Peu de contamination par les métal lourds
  · Résistant à la corrosion fluor
  · Soufflets remplaçables (type joint à soufflet)

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  à partir de∗ ：	462.87 €
  Délai d'expédition minimum ：	26 jours

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• 

  XL*, Vanne coudée pour vide élevé, commande pneumatique

  SMC

  A high vacuum angle valve with initial exhaust valve with adjustable flow rate.
  [Features]
  · Initial exhaust valve and main exhaust valve are integrated (two-step flow rate control valve).
  · Allows for compact system designs and reduced piping.
  · Prevents dust turbulence inside the chamber when exhausting.
  · Prevents pumps from running when overloaded.
  · Its low outgassing enables use with a smaller pump capacity and helps reduce exhaust time.
  · Does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome).
  · Low sputtering yield minimizes heavy metal contamination of wafers.

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  à partir de∗ ：	884.79 €
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  Vannes d'équerre vide poussé en aluminium, Double effet, Joint d´étanchéité, Joint torique, série XLG

  SMC

  [Caractéristiques]
  · Corps en aluminium
  · Température de cuisson uniforme
  · Léger et compact
  · Faible dégazage
  · Peu de contamination par les métal lourds
  · Résistant à la corrosion fluor
  · Soufflets remplaçables (type joint à soufflet)

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  à partir de∗ ：	472.09 €
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  XLH, Vanne coudée manuelle pour vide élevé, joint de soufflet de protection

  SMC

  A high vacuum angle valve with a pressure-balanced structure that enables an unrestricted exhaust direction.
  [Features]
  · Bellows type is particulate-free and cleaned.
  · Low actuation torque (0.5 N·m or less).
  · Spring provides a standard sealing load.
  · Handle height remains the same regardless of whether valve is open or closed.
  · Equipped as standard with an indicator for confirming if the valve is open or closed.
  · Its low outgassing enables use with a smaller pump capacity and helps reduce exhaust time.
  · Does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome).
  · Low sputtering yield minimizes heavy metal contamination of wafers.

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  à partir de∗ ：	440.59 €
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  Vannes d'équerre à vide poussé en acier inoxydable / vannes en ligne, double effet / Joint d´étanchéité à soufflet, série XMC/XYC

  SMC

  Soupape à vide avec structure monobloc moulée avec précision qui aide à prévenir l'accumulation de Gaz .
  [Caractéristiques]
  · Le Type à soufflet est exempt de particules et nettoyé.
  · Pression équilibrée.
  · Matériau du corps: SCS13 (équivalent SUS304).
  · La série XM est interchangeable avec les vannes angulaires à vide poussé en aluminium de la série XL.

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  à partir de∗ ：	626.70 €
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  *Prix unitaire/configuration de base

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  Vannes à vide poussé en acier inoxydable, commande à 2 étages, simple effet / joint d´étanchéité à soufflet, série XMD/XYD

  SMC

  Une soupape à vide pour empêcher les pompes de fonctionner en cas de surcharge.
  [Caractéristiques]
  · La soupape d'échappement initiale et la soupape d'échappement principale sont intégrées (robinet de contrôle de débit à deux étages)
  · Permet des conceptions de système compactes et une tuyauterie réduite.
  · Empêche la turbulence de la poussière à l'intérieur de la chambre lors de l'évacuation.
  · Débit réglable pour la soupape d'échappement initial.
  · Matériau du corps: SCS13 (équivalent SUS304).
  · Structure monobloc moulée avec précision qui aide à prévenir l'accumulation de Gaz .
  · La série XM est interchangeable avec les vannes angulaires à vide poussé en aluminium de la série XL.

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  XM et XY, Vannes pour vide élevé, acier inox, modèle angulaire et axial

  SMC

  A vacuum valve with a pressure-balanced structure that enables an unrestricted exhaust direction.
  [Features]
  · Bellows type is particulate-free and cleaned.
  · Low actuation torque (0.5 N·m or less).
  · Spring provides a standard sealing load.
  · Handle height remains the same regardless of whether valve is open or closed.
  · Equipped as standard with an indicator for confirming if the valve is open or closed.
  · Body material: SCS13 (SUS304 equivalent).
  · Precision-cast single-piece structure which helps prevent gas accumulation.
  · The XM Series is interchangeable with XL Series aluminum high vacuum angle valves.

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