Soupapes à vide（Type à commutation：2 positions, normalement fermé）

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  ZP2V, Distributeur économe en vide

  SMC

  A vacuum valve which inhibits drops in vacuum pressure, even when no workpiece is present.
  [Features]
  · Keeps hold of workpieces when multiple vacuum pads are used by a single vacuum generator.
  · Protects against drops in vacuum pressure, even when some pads are not suctioning.
  · Single-action fitting models now also available.
  · No need for switching the operation when changing out workpieces.
  · Allows the simplification of control circuits when workpieces have different shapes.
  · Fixed orifice size: 0.3 mm, 0.5 mm, 0.7 mm, 1 mm.

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• 

  Vanne d'équerre vide poussé en aluminium, double effet / soufflet joint d´étanchéité, série XLC

  SMC

  [Caractéristiques]
  · Corps en aluminium
  · Température de cuisson uniforme
  · Léger et compact
  · Faible dégazage
  · Peu de contamination par les métal lourds
  · Résistant à la corrosion fluor
  · Soufflets remplaçables (type joint à soufflet)

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  XM et XY, Vannes pour vide élevé, acier inox, modèle angulaire et axial

  SMC

  A vacuum valve with a pressure-balanced structure that enables an unrestricted exhaust direction.
  [Features]
  · Bellows type is particulate-free and cleaned.
  · Low actuation torque (0.5 N·m or less).
  · Spring provides a standard sealing load.
  · Handle height remains the same regardless of whether valve is open or closed.
  · Equipped as standard with an indicator for confirming if the valve is open or closed.
  · Body material: SCS13 (SUS304 equivalent).
  · Precision-cast single-piece structure which helps prevent gas accumulation.
  · The XM Series is interchangeable with XL Series aluminum high vacuum angle valves.

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  XL*, Vanne coudée pour vide élevé, commande pneumatique

  SMC

  A high vacuum angle valve with initial exhaust valve with adjustable flow rate.
  [Features]
  · Initial exhaust valve and main exhaust valve are integrated (two-step flow rate control valve).
  · Allows for compact system designs and reduced piping.
  · Prevents dust turbulence inside the chamber when exhausting.
  · Prevents pumps from running when overloaded.
  · Its low outgassing enables use with a smaller pump capacity and helps reduce exhaust time.
  · Does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome).
  · Low sputtering yield minimizes heavy metal contamination of wafers.

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  XSA, Normalement fermé, Électrodistributeur pour vide élevé

  SMC

  A normally closed type high vacuum solenoid valve with reduced particulate matter and improved sealing performance.
  [Features]
  · Flame-retardant (UL94V-0 compliant).
  · Two types of fittings (face seal fitting and compression fitting) and female threads (Rc, NPT) are available.
  · Moving the spring from the sliding part of the armature iron core to the body reduces the generation of particulate matter caused by contact with the spring.
  · Improved sealing performance, securely sealing with its powerful spring.
  · Power consumption: 4.5 W (size 1) / 7 W (size 2) / 10.5 W (size 3).
  *For DC specification / class B.

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• 

  Contrôleur de vide pour pompe à vide (avec commutateur de vide) série VQP

  NIHON PISCO

  Vacuum controller, optimal for controlling large flow rates
  Vacuum switch specification (31‑mm wide, dual‑output vacuum switch)

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• 

  XM et XY, Vannes pour vide élevé, acier inox, modèle angulaire et axial

  SMC

  A vacuum valve with a pressure balanced structure.
  [Features]
  · Body material: SCS13 (SUS304 equivalent). Made of stainless steel.
  · Precision-cast single-piece structure which helps prevent gas accumulation.
  · Interchangeable with XL Series aluminum high-vacuum angle valves.
  · Bellows type is particulate-free and cleaned.

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• 

  XLA-2, Vanne angulaire pour le vide, Aluminium, Normalement fermé / joint de soufflet de protection

  SMC

  Vacuum regulator with low outgassing.
  [Features]
  · Aluminum body.
  · Replaceable bellows.
  · Uniform baking temperature.
  · Lightweight and compact.
  · Little heavy metal contamination.

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• 

  Vannes d'équerre vide poussé en aluminium, Double effet, Joint d´étanchéité, Joint torique, série XLG

  SMC

  [Caractéristiques]
  · Corps en aluminium
  · Température de cuisson uniforme
  · Léger et compact
  · Faible dégazage
  · Peu de contamination par les métal lourds
  · Résistant à la corrosion fluor
  · Soufflets remplaçables (type joint à soufflet)

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• 

  XLH, Vanne coudée manuelle pour vide élevé, joint de soufflet de protection

  SMC

  A high vacuum angle valve with a pressure-balanced structure that enables an unrestricted exhaust direction.
  [Features]
  · Bellows type is particulate-free and cleaned.
  · Low actuation torque (0.5 N·m or less).
  · Spring provides a standard sealing load.
  · Handle height remains the same regardless of whether valve is open or closed.
  · Equipped as standard with an indicator for confirming if the valve is open or closed.
  · Its low outgassing enables use with a smaller pump capacity and helps reduce exhaust time.
  · Does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome).
  · Low sputtering yield minimizes heavy metal contamination of wafers.

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  Vanne pneumatique à vide élevé série AVB*17

  CKD

  Durable with a long service life. NC type. Light and compact thanks to adoption of aluminum alloy body.

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  Vannes d'équerre à vide poussé en acier inoxydable / vannes en ligne, double effet / Joint d´étanchéité à soufflet, série XMC/XYC

  SMC

  Soupape à vide avec structure monobloc moulée avec précision qui aide à prévenir l'accumulation de Gaz .
  [Caractéristiques]
  · Le Type à soufflet est exempt de particules et nettoyé.
  · Pression équilibrée.
  · Matériau du corps: SCS13 (équivalent SUS304).
  · La série XM est interchangeable avec les vannes angulaires à vide poussé en aluminium de la série XL.

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  Vannes à vide poussé en acier inoxydable, commande à 2 étages, simple effet / joint d´étanchéité à soufflet, série XMD/XYD

  SMC

  Une soupape à vide pour empêcher les pompes de fonctionner en cas de surcharge.
  [Caractéristiques]
  · La soupape d'échappement initiale et la soupape d'échappement principale sont intégrées (robinet de contrôle de débit à deux étages)
  · Permet des conceptions de système compactes et une tuyauterie réduite.
  · Empêche la turbulence de la poussière à l'intérieur de la chambre lors de l'évacuation.
  · Débit réglable pour la soupape d'échappement initial.
  · Matériau du corps: SCS13 (équivalent SUS304).
  · Structure monobloc moulée avec précision qui aide à prévenir l'accumulation de Gaz .
  · La série XM est interchangeable avec les vannes angulaires à vide poussé en aluminium de la série XL.

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  XVD2, Vanne à vide élevé, évent sans à-coups

  SMC

  A smooth vent valve with an adjustable flow rate for both the initial and main air supplies.
  [Features]
  · An integrated valve and needle valve structure that requires on 1/4 the piping space of previous models.
  · Uses a metal diaphragm for the seat section, greatly reducing the generation of particulate matter.
  · Valve type: Normally closed (pressurize to open, spring seal).
  Fluids: Nitrogen, air, inert gas.
  · Operating temperature: 5 to 60°C (baking temperature, 150°C or less).
  · Weight: 0.5 kg.

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