Robots à axe simple(Max. Thrust Force Range:0 à 100)

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Max. Transportable Mass Range (Horizontal)(kg)
Max. Transportable Mass (Horizontal)(kg)
Max. Transportable Mass Range (Vertical)(kg)
Max. Transportable Mass (Vertical)(kg)
Drive Method
Guide
Lead(mm)
Input Power Supply
Position Detection
I/O Module
Table Width W1(mm)
Brake
Max. Thrust Force Range(N)
Max. Thrust Force(N)
Noise Filters
Table Length L1(mm)
Environnement de fonctionnement
Positioning Repeatability(µm)
Maximum Velocity(mm/sec)

    Actionneurs Linéaires / Servomoteur électrique à tige / Série LEY moteur pas à pas / servomoteur

      Vérin électrique série LZB

        Actionneurs Linéaires / Servomoteur électrique à vis à billes Série LEFS Moteur pas à pas/Servomoteur

          Guidage par vis à billes - LEFS

            Vérin électrique série LZC

              Actionneur électrique à guidage linéaire de type entraînement par courroie, sans moteur - spécifications, série LEFB

                Actionneur électrique à guidage linéaire à entraînement par courroie série LEFB, servomoteur AC série LECS□

                  Actionneurs Linéaires / Actionneur électrique / Bas profil / Type de base / Série LEMB / Moteur pas à pas

                    Actionneurs Linéaires / Servomoteur électrique / Tige avec guidage / Série LEYG Moteur pas à pas/Servomoteur

                      Robots à axe simple RS1 - Droits-

                        Moteur carte série LAT3

                          Actionneur électrique à tige miniature série LEPY moteur pas-à-pas (servo 24 V DC)

                            Robots à axe simple RS1 / Moteur déporté

                              Robots à axe simple RS3 / Moteur déporté

                                Robots à axe simple RSD1 / Type à tige

                                  Actionneur électrique à entraînement par vis à billes, modèle guidé, servomoteur AC LECS□

                                    Actionneur électrique à guidage linéaire à entraînement par courroie série LEFB, servomoteur AC LECY□

                                      Actionneurs Linéaires / Servomoteur électrique avec tige de guidage et entraînement par courroie / Série LEL Moteur pas à pas

                                        Actionneurs Linéaires / Actionneur électrique / Curseur à profil bas / Guidage par galets de came / Moteur pas à pas série LEMC

                                          Actionneurs linéaires / Actionneur électrique / Chariot à profil bas / Guidage linéaire 1 axe/2 axes / Série LEMH/LEMHT

                                            Actionneurs linéaires / Servomoteur électrique Table à chariot miniature / Série LEPS Moteur pas à pas

                                              Actionneurs linéaires / Servomoteur électrique / Version à tige / étanche aux poussières/égouttage (correspond à IP65) Spécifications / Série LEY-X5

                                                Actionneurs Linéaires / Actionneur électrique / Vis à billes / Spécifications propres / Série 11-LEFS

                                                  Table électrique linéaire haute rigidité série LESH

                                                    Patin électrique, série EAS

                                                      Robots à axe simple RS2 - Linéaire

                                                        Robots à axe simple RS3 - Linéaire

                                                          Robot à axe simple RSH1

                                                            Robot à axe simple RSH2

                                                              Robot à axe simple RSH3

                                                                Robots à axe simple RS2 / Moteur déporté

                                                                  Type à tige avec guide de support

                                                                    Table électrique linéaire - type compact Série LES

                                                                      Actionneur électrique à entraînement par vis à billes, modèle guidé, série LEFS, servomoteur AC LECY□

                                                                        Actionneur électrique à entraînement par courroie, modèle guidé, à grande rigidité série LEJB servomoteur AC LECS□

                                                                          Actionneur électrique à entraînement par courroie, modèle guidé, à grande rigidité série LEJB servomoteur AC LECY□

                                                                            Cylindre électrique série LZC

                                                                              Patin électrique, série EZS

                                                                              Marque

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              MISUMI

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              MISUMI

                                                                              MISUMI

                                                                              MISUMI

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              ORIENTAL MOTOR

                                                                              MISUMI

                                                                              MISUMI

                                                                              MISUMI

                                                                              MISUMI

                                                                              MISUMI

                                                                              MISUMI

                                                                              MISUMI

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              ORIENTAL MOTOR

                                                                              ORIENTAL MOTOR

                                                                              Série du produit

                                                                              Actionneurs Linéaires / Servomoteur électrique à tige / Série LEY moteur pas à pas / servomoteur

                                                                              Vérin électrique série LZB

                                                                              Actionneurs Linéaires / Servomoteur électrique à vis à billes Série LEFS Moteur pas à pas/Servomoteur

                                                                              Guidage par vis à billes - LEFS

                                                                              Vérin électrique série LZC

                                                                              Actionneur électrique à guidage linéaire de type entraînement par courroie, sans moteur - spécifications, série LEFB

                                                                              Actionneur électrique à guidage linéaire à entraînement par courroie série LEFB, servomoteur AC série LECS□

                                                                              Actionneurs Linéaires / Actionneur électrique / Bas profil / Type de base / Série LEMB / Moteur pas à pas

                                                                              Actionneurs Linéaires / Servomoteur électrique / Tige avec guidage / Série LEYG Moteur pas à pas/Servomoteur

                                                                              Robots à axe simple RS1 - Droits-

                                                                              Moteur carte série LAT3

                                                                              Actionneur électrique à tige miniature série LEPY moteur pas-à-pas (servo 24 V DC)

                                                                              Robots à axe simple RS1 / Moteur déporté

                                                                              Robots à axe simple RS3 / Moteur déporté

                                                                              Robots à axe simple RSD1 / Type à tige

                                                                              Actionneur électrique à entraînement par vis à billes, modèle guidé, servomoteur AC LECS□

                                                                              Actionneur électrique à guidage linéaire à entraînement par courroie série LEFB, servomoteur AC LECY□

                                                                              Actionneurs Linéaires / Servomoteur électrique avec tige de guidage et entraînement par courroie / Série LEL Moteur pas à pas

                                                                              Actionneurs Linéaires / Actionneur électrique / Curseur à profil bas / Guidage par galets de came / Moteur pas à pas série LEMC

                                                                              Actionneurs linéaires / Actionneur électrique / Chariot à profil bas / Guidage linéaire 1 axe/2 axes / Série LEMH/LEMHT

                                                                              Actionneurs linéaires / Servomoteur électrique Table à chariot miniature / Série LEPS Moteur pas à pas

                                                                              Actionneurs linéaires / Servomoteur électrique / Version à tige / étanche aux poussières/égouttage (correspond à IP65) Spécifications / Série LEY-X5

                                                                              Actionneurs Linéaires / Actionneur électrique / Vis à billes / Spécifications propres / Série 11-LEFS

                                                                              Table électrique linéaire haute rigidité série LESH

                                                                              Patin électrique, série EAS

                                                                              Robots à axe simple RS2 - Linéaire

                                                                              Robots à axe simple RS3 - Linéaire

                                                                              Robot à axe simple RSH1

                                                                              Robot à axe simple RSH2

                                                                              Robot à axe simple RSH3

                                                                              Robots à axe simple RS2 / Moteur déporté

                                                                              Type à tige avec guide de support

                                                                              Table électrique linéaire - type compact Série LES

                                                                              Actionneur électrique à entraînement par vis à billes, modèle guidé, série LEFS, servomoteur AC LECY□

                                                                              Actionneur électrique à entraînement par courroie, modèle guidé, à grande rigidité série LEJB servomoteur AC LECS□

                                                                              Actionneur électrique à entraînement par courroie, modèle guidé, à grande rigidité série LEJB servomoteur AC LECY□

                                                                              Cylindre électrique série LZC

                                                                              Patin électrique, série EZS

                                                                              CAD
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              à partir de

                                                                              595.53 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              278.34 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              1,218.97 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              1,148.76 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              380.90 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              1,149.43 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              1,209.41 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              679.23 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              760.19 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              -

                                                                              522.24 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              493.87 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              -

                                                                              -

                                                                              -

                                                                              1,561.24 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              1,995.80 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              520.43 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              1,094.31 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              1,319.73 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              598.76 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              1,806.49 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              1,028.63 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              695.53 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              642.12 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              -

                                                                              -

                                                                              -

                                                                              -

                                                                              -

                                                                              -

                                                                              -

                                                                              627.53 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              1,913.64 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              3,432.53 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              3,592.56 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              517.84 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              671.73 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              Délai d'expédition minimum 7 jours 26 jours 7 jours 26 jours 26 jours 26 jours 26 jours 26 jours 7 jours 14 jours 26 jours 26 jours 14 jours 14 jours 14 jours 26 jours 26 jours 26 jours 26 jours 26 jours 26 jours 26 jours 26 jours 26 jours 18 jours 14 jours 14 jours 19 jours 19 jours 19 jours 14 jours 14 jours Jour même 26 jours 26 jours 26 jours 18 jours 18 jours
                                                                              Main Body, Peripheral ComponentsCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principal
                                                                              TypeTigesTigesGlissièresGlissièresTigesGlissièresGlissièresGlissièresTigesGlissièresGlissièresTigesGlissièresGlissièresTigesGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresTigesGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresTigesGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissières
                                                                              Stroke(mm)30 ~ 40010 ~ 20050 ~ 800200 ~ 80025 ~ 2001,000 ~ 17001,000 ~ 17001,000 ~ 160030 ~ 30050 ~ 40010 ~ 5025 ~ 7550 ~ 40050 ~ 80050 ~ 20050 ~ 8001,200 ~ 9001,000 ~ 9001,000 ~ 16001,000 ~ 90025 ~ 50100 ~ 40050 ~ 40050 ~ 15050 ~ 70050 ~ 80050 ~ 800150 ~ 800150 ~ 1050150 ~ 105050 ~ 80050 ~ 20030 ~ 150100 ~ 5501,200 ~ 2,0001,200 ~ 2,00050 ~ 30050 ~ 600
                                                                              Max. Transportable Mass Range (Horizontal)(kg)2,1 à 5,0 / 5,1 à 10,0 / 10,1 à 20,0 / 20,1 à 50,02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,05,1 à 10,02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,02,1 à 5,02,1 à 5,05,1 à 10,02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,0 / 10,1 à 20,0 / 20,1 à 50,00 à 2.0 / 2,1 à 5,00 à 2.00 à 2.0 / 2,1 à 5,0 / 5,1 à 10,00 à 2.0 / 2,1 à 5,05,1 à 10,05,1 à 10,0 / 10,1 à 20,05,1 à 10,02,1 à 5,02,1 à 5,05,1 à 10,05,1 à 10,00 à 2.05,1 à 10,0 / 10,1 à 20,05,1 à 10,0 / 20,1 à 50,00 à 2.0 / 2,1 à 5,0 / 5,1 à 10,05,1 à 10,0 / 10,1 à 20,02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,05,1 à 10,010,1 à 20,05,1 à 10,0 / 10,1 à 20,020,1 à 50,02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,05,1 à 10,0 / 10,1 à 20,00 à 2.0 / 2,1 à 5,05,1 à 10,05,1 à 10,05,1 à 10,010,1 à 20,05,1 à 10,0 / 10,1 à 20,0
                                                                              Max. Transportable Mass (Horizontal)(kg)3 ~ 232.4 ~ 8.25 ~ 10102.4 ~ 8.25563 ~ 232 ~ 411 ~ 62 ~ 46 ~ 810 ~ 201053 ~ 510100.75 ~ 27 ~ 159 ~ 301 ~ 87.5 ~ 154 ~ 106 ~ 8127 ~ 20304 ~ 1010 ~ 201 ~ 5101010157.5 ~ 15
                                                                              Max. Transportable Mass Range (Vertical)(kg)0 à 2.0 / 2,1 à 5,0 / 5,1 à 10,0-0 à 2.0 / 2,1 à 5,02,1 à 5,0----0 à 2.0 / 2,1 à 5,00 à 2.00 à 2.00 à 2.00 à 2.00 à 2.02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,02,1 à 5,0----0 à 2.00 à 2.0 / 2,1 à 5,00 à 2.0 / 2,1 à 5,0 / 5,1 à 10,0 / 10,1 à 20,0 / 20,1 à 50,00 à 2.0 / 2,1 à 5,02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,00 à 2.00 à 2.0-2,1 à 5,0-0 à 2.02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,00 à 2.0 / 2,1 à 5,02,1 à 5,0--5,1 à 10,02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,0
                                                                              Max. Transportable Mass (Vertical)(kg)2 ~ 6-0.5 ~ 44----1.5 ~ 51 ~ 20.05 ~ Non vertical0.25 ~ 1.51 ~ 224 ~ 84----0.25 ~ 1.52 ~ 52 ~ 230.25 ~ 2.52.5 ~ 71 ~ 22-4-1 ~ 23.5 ~ 7.50.25 ~ 54--73.5 ~ 7
                                                                              Drive MethodVis à billes rouléesVis de glissièreVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesCourroiesCourroiesCourroiesVis à billes rouléesVis à billes rouléesMoteur linéaireVis de glissièreVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesCourroiesCourroiesCourroiesCourroiesVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis de glissièreVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis de glissièreVis à billes rouléesCourroiesCourroiesVis à billes rouléesVis à billes roulées
                                                                              GuideNon fourniNon fourniFourniFourniNon fourniFourniFourniFourniFourni-FourniFourni--Non fourniFourniFourniFourniFourniFourniFourniNon fourniFourniFourniFourni------FourniFourniFourniFourniFourniNon fourni / FourniFourni
                                                                              Lead(mm)5 ~ 122 ~ 125 ~ 20202 ~ 12Équivalent 54Équivalent 54Équivalent à 485 ~ 126 ~ 12-4 ~ 106 ~ 1212 ~ 206 ~ 1220Équivalent 54Équivalent à 48Équivalent à 48Équivalent à 484 ~ 106 ~ 125 ~ 124 ~ 16-6 ~ 2012 ~ 202020 ~ 30206 ~ 206 ~ 124 ~ 16202727--
                                                                              Input Power Supply24VDC24VDC24VDC-24VDC--24VDC24VDC24VDC24VDC24VDC24VDC24VDC24VDC--24VDC24VDC24VDC24VDC24VDC24VDC24VDC24VDC / Monophasé, 100 à 115VAC / Monophasé, 200 à 230VAC / Triphasé, 200 à 230VAC / Monophasé, 100 à 120VAC / Monophasé, 200 à 240VAC / 24/48VDC24VDC24VDCMonophasé, 200 à 230VACMonophasé, 200 à 230VACMonophasé, 200 à 230VAC24VDC24VDC24VDC---Monophasé, 200 à 230VAC / Monophasé, 200 à 240VAC / 24/48VDCMonophasé, 100 à 115VAC / Monophasé, 200 à 230VAC / Triphasé, 200 à 230VAC / Monophasé, 200 à 240VAC / 24/48VDC
                                                                              Position DetectionIncrémentiel-IncrémentielIncrémentiel--Incrémentiel / AbsoluIncrémentielIncrémentielIncrémentielIncrémentielIncrémentielIncrémentielIncrémentielIncrémentielIncrémentiel / AbsoluAbsoluIncrémentielIncrémentielIncrémentielIncrémentielIncrémentielIncrémentielIncrémentielAbsoluIncrémentielIncrémentielIncrémentiel / AbsoluIncrémentiel / AbsoluIncrémentiel / AbsoluIncrémentielIncrémentielIncrémentielAbsoluIncrémentiel / AbsoluAbsoluAbsoluAbsolu
                                                                              I/O ModuleNPN / PNP / Ethernet / Non fourni / EtherCAT / IO-Link / PROFINETNPN / PNP / Non fourniNPN / PNP-NPN / PNP / Non fourni--NPN / PNP / Ethernet / Non fourni / EtherCAT / PROFINETNPN / PNP / Ethernet / Non fourni / EtherCAT / PROFINETNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / Non fourniNPN / PNP / Ethernet / Non fourni / EtherCAT / PROFINETNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNet--NPN / PNP / Ethernet / Non fourni / EtherCAT / PROFINETNPN / PNP / Ethernet / Non fourni / PROFINETNPN / PNP / Ethernet / Non fourni / EtherCAT / PROFINETNPN / PNP / Ethernet / Non fourni / EtherCAT / PROFINETPNP / Non fourniNPN / PNP / Ethernet / Non fourni / PROFINETNPN / PNP / DeviceNet / Ethernet / Non fourni / EtherCAT / PROFINETNon fourniNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / DeviceNet / Ethernet / Non fourni / EtherCAT / IO-Link / PROFINET---Non fourniNon fourni
                                                                              Table Width W1(mm)--39.4 ~ 5050-505061-4149-4152-50505672.450.4 ~ 87.419 ~ 24-39.4 ~ 5032 ~ 6125 ~ 64505280808050-32.2 ~ 6050105105-54
                                                                              BrakeNon fourni / FourniNon fourniNon fourni / FourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourniNon fourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourniNon fourni / FourniNon fourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourniNon fourni / FourniNon fourni / Fourni
                                                                              Max. Thrust Force Range(N)0 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 100
                                                                              Max. Thrust Force(N)30 ~ 7424 ~ 8049 ~ 989824 ~ 80494958.830 ~ 7445 ~ 902.5 ~ 610 ~ 5045 ~ 9036 ~ 6075 ~ 100984929.4 ~ 49989810 ~ 5035 ~ 7288.2 ~ 2947.5 ~ 10025 ~ 7027 ~ 9036 ~ 608456 ~ 848427 ~ 9075 ~ 1007.5 ~ 1009898987043 ~ 86
                                                                              Noise FiltersNon fourniNon fourniNon fourni / FourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourni-Non fourniNon fourni---Non fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourni--Non fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / Fourni--Non fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourni
                                                                              Table Length L1(mm)--72 ~ 102102-10210278-5860 ~ 150-5890-10210264 ~ 82707076.4 ~ 113.2-72 ~ 102110.5 ~ 28545 ~ 657090787815470-88.5 ~ 316.5102160160-72
                                                                              Environnement de fonctionnementStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardAnti-poussièreStandardStandard / Anti-poussièreStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandard / Anti-poussièreStandardStandardStandardStandardStandard
                                                                              Positioning Repeatability(µm)±20-±15 ~ ±20±10 ~ ±20-±60±60±80±20±20±5 ~ ±90±50±20±20±20±10 ~ ±20±60±80±80±80±50±20±20±50-±20±20±20±10±10±20±20±50±20±40±40--
                                                                              Maximum Velocity(mm/sec)250 ~ 50033 ~ 2001,000 ~ 8001,200 ~ 55033 ~ 200200020001,000250 ~ 500300 ~ 600400150 ~ 350300 ~ 600600 ~ 1000250 ~ 5001,200 ~ 90020001,000 ~ 5001,0002000150 ~ 350200 ~ 400250 ~ 500150 ~ 400300 ~ 800300 ~ 1000600 ~ 100012001200 ~ 18001200300 ~ 1000250 ~ 500200 ~ 4001,200 ~ 90020002000600300 ~ 800

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