Robots à axe simple(Max. Thrust Force Range:0 à 100)

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Max. Transportable Mass Range (Horizontal)(kg)
Max. Transportable Mass (Horizontal)(kg)
Max. Transportable Mass Range (Vertical)(kg)
Max. Transportable Mass (Vertical)(kg)
Drive Method
Guide
Lead(mm)
Input Power Supply
Position Detection
I/O Module
Table Width W1(mm)
Brake
Max. Thrust Force Range(N)
Max. Thrust Force(N)
Noise Filters
Table Length L1(mm)
Environnement de fonctionnement
Positioning Repeatability(µm)
Maximum Velocity(mm/sec)

    Vérin électrique série LZB

      Actionneurs Linéaires / Servomoteur électrique à vis à billes Série LEFS Moteur pas à pas/Servomoteur

        Table électrique linéaire - type compact Série LES

          Actionneurs Linéaires / Servomoteur électrique / Tige avec guidage / Série LEYG Moteur pas à pas/Servomoteur

            Guidage par vis à billes - LEFS

              Actionneurs Linéaires / Actionneur électrique / Bas profil / Type de base / Série LEMB / Moteur pas à pas

                Vérin électrique série LZC

                  Actionneurs linéaires / Servomoteur électrique Table à chariot miniature / Série LEPS Moteur pas à pas

                    Robots à axe simple RS1 - Droits-

                      Robots à axe simple RS2 - Linéaire

                        Actionneurs linéaires / Actionneur électrique / Chariot à profil bas / Guidage linéaire 1 axe/2 axes / Série LEMH/LEMHT

                          Robots à axe simple RS1 / Moteur déporté

                            Robots à axe simple RS2 / Moteur déporté

                              Actionneur électrique à guidage linéaire de type entraînement par courroie, sans moteur - spécifications, série LEFB

                                Actionneurs Linéaires / Servomoteur électrique à tige / Série LEY moteur pas à pas / servomoteur

                                  Robot à axe simple RSH2

                                    Type à tige avec guide de support

                                      Moteur carte série LAT3

                                        Actionneur électrique à guidage linéaire à entraînement par courroie série LEFB, servomoteur AC série LECS□

                                          Actionneur électrique à entraînement par courroie, modèle guidé, à grande rigidité série LEJB servomoteur AC LECS□

                                            Actionneur électrique à tige miniature série LEPY moteur pas-à-pas (servo 24 V DC)

                                              Actionneurs linéaires / Servomoteur électrique / Version à tige / étanche aux poussières/égouttage (correspond à IP65) Spécifications / Série LEY-X5

                                                Table électrique linéaire haute rigidité série LESH

                                                  Robots à axe simple RS3 - Linéaire

                                                    Robot à axe simple RSH1

                                                      Robot à axe simple RSH3

                                                        Robots à axe simple RS3 / Moteur déporté

                                                          Robots à axe simple RSD1 / Type à tige

                                                            Actionneur électrique à entraînement par vis à billes, modèle guidé, servomoteur AC LECS□

                                                              Actionneur électrique à entraînement par vis à billes, modèle guidé, série LEFS, servomoteur AC LECY□

                                                                Actionneur électrique à guidage linéaire à entraînement par courroie série LEFB, servomoteur AC LECY□

                                                                  Actionneur électrique à entraînement par courroie, modèle guidé, à grande rigidité série LEJB servomoteur AC LECY□

                                                                    Actionneurs Linéaires / Servomoteur électrique avec tige de guidage et entraînement par courroie / Série LEL Moteur pas à pas

                                                                      Actionneurs Linéaires / Actionneur électrique / Curseur à profil bas / Guidage par galets de came / Moteur pas à pas série LEMC

                                                                        Actionneurs Linéaires / Actionneur électrique / Vis à billes / Spécifications propres / Série 11-LEFS

                                                                          Cylindre électrique série LZC

                                                                            Patin électrique, série EAS

                                                                              Patin électrique, série EZS

                                                                              Marque

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              MISUMI

                                                                              MISUMI

                                                                              SMC

                                                                              MISUMI

                                                                              MISUMI

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              MISUMI

                                                                              MISUMI

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              MISUMI

                                                                              MISUMI

                                                                              MISUMI

                                                                              MISUMI

                                                                              MISUMI

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              SMC

                                                                              ORIENTAL MOTOR

                                                                              ORIENTAL MOTOR

                                                                              ORIENTAL MOTOR

                                                                              Série du produit

                                                                              Vérin électrique série LZB

                                                                              Actionneurs Linéaires / Servomoteur électrique à vis à billes Série LEFS Moteur pas à pas/Servomoteur

                                                                              Table électrique linéaire - type compact Série LES

                                                                              Actionneurs Linéaires / Servomoteur électrique / Tige avec guidage / Série LEYG Moteur pas à pas/Servomoteur

                                                                              Guidage par vis à billes - LEFS

                                                                              Actionneurs Linéaires / Actionneur électrique / Bas profil / Type de base / Série LEMB / Moteur pas à pas

                                                                              Vérin électrique série LZC

                                                                              Actionneurs linéaires / Servomoteur électrique Table à chariot miniature / Série LEPS Moteur pas à pas

                                                                              Robots à axe simple RS1 - Droits-

                                                                              Robots à axe simple RS2 - Linéaire

                                                                              Actionneurs linéaires / Actionneur électrique / Chariot à profil bas / Guidage linéaire 1 axe/2 axes / Série LEMH/LEMHT

                                                                              Robots à axe simple RS1 / Moteur déporté

                                                                              Robots à axe simple RS2 / Moteur déporté

                                                                              Actionneur électrique à guidage linéaire de type entraînement par courroie, sans moteur - spécifications, série LEFB

                                                                              Actionneurs Linéaires / Servomoteur électrique à tige / Série LEY moteur pas à pas / servomoteur

                                                                              Robot à axe simple RSH2

                                                                              Type à tige avec guide de support

                                                                              Moteur carte série LAT3

                                                                              Actionneur électrique à guidage linéaire à entraînement par courroie série LEFB, servomoteur AC série LECS□

                                                                              Actionneur électrique à entraînement par courroie, modèle guidé, à grande rigidité série LEJB servomoteur AC LECS□

                                                                              Actionneur électrique à tige miniature série LEPY moteur pas-à-pas (servo 24 V DC)

                                                                              Actionneurs linéaires / Servomoteur électrique / Version à tige / étanche aux poussières/égouttage (correspond à IP65) Spécifications / Série LEY-X5

                                                                              Table électrique linéaire haute rigidité série LESH

                                                                              Robots à axe simple RS3 - Linéaire

                                                                              Robot à axe simple RSH1

                                                                              Robot à axe simple RSH3

                                                                              Robots à axe simple RS3 / Moteur déporté

                                                                              Robots à axe simple RSD1 / Type à tige

                                                                              Actionneur électrique à entraînement par vis à billes, modèle guidé, servomoteur AC LECS□

                                                                              Actionneur électrique à entraînement par vis à billes, modèle guidé, série LEFS, servomoteur AC LECY□

                                                                              Actionneur électrique à guidage linéaire à entraînement par courroie série LEFB, servomoteur AC LECY□

                                                                              Actionneur électrique à entraînement par courroie, modèle guidé, à grande rigidité série LEJB servomoteur AC LECY□

                                                                              Actionneurs Linéaires / Servomoteur électrique avec tige de guidage et entraînement par courroie / Série LEL Moteur pas à pas

                                                                              Actionneurs Linéaires / Actionneur électrique / Curseur à profil bas / Guidage par galets de came / Moteur pas à pas série LEMC

                                                                              Actionneurs Linéaires / Actionneur électrique / Vis à billes / Spécifications propres / Série 11-LEFS

                                                                              Cylindre électrique série LZC

                                                                              Patin électrique, série EAS

                                                                              Patin électrique, série EZS

                                                                              CAD
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              • 2D / 3D
                                                                              à partir de

                                                                              278.34 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              1,218.97 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              627.53 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              760.19 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              1,148.76 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              679.23 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              380.90 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              598.76 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              -

                                                                              -

                                                                              1,319.73 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              -

                                                                              -

                                                                              1,149.43 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              595.53 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              -

                                                                              -

                                                                              522.24 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              1,209.41 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              3,432.53 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              493.87 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              1,806.49 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              695.53 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              -

                                                                              -

                                                                              -

                                                                              -

                                                                              -

                                                                              1,561.24 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              1,913.64 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              1,995.80 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              3,592.56 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              520.43 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              1,094.31 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              1,028.63 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              490.45 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              608.16 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              636.21 €

                                                                              *Prix unitaire/configuration de base

                                                                              Délai d'expédition minimum 26 jours 7 jours Jour même 7 jours 26 jours 26 jours 26 jours 26 jours 22 jours 22 jours 26 jours 22 jours 22 jours 26 jours 7 jours 19 jours 22 jours 26 jours 26 jours 26 jours 26 jours 26 jours 26 jours 22 jours 19 jours 19 jours 22 jours 22 jours 26 jours 26 jours 26 jours 26 jours 26 jours 26 jours 26 jours 19 jours 19 jours 19 jours
                                                                              Main Body, Peripheral ComponentsCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principalCorps principal
                                                                              TypeTigesGlissièresGlissièresTigesGlissièresGlissièresTigesGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresTigesGlissièresTigesGlissièresGlissièresGlissièresTigesTigesGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresTigesGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissièresGlissières
                                                                              Stroke(mm)10 ~ 20050 ~ 80030 ~ 15030 ~ 300200 ~ 8001,000 ~ 160025 ~ 20025 ~ 5050 ~ 40050 ~ 8001,000 ~ 90050 ~ 40050 ~ 8001,000 ~ 170030 ~ 400150 ~ 105050 ~ 20010 ~ 501,000 ~ 17001,200 ~ 2,00025 ~ 75100 ~ 40050 ~ 15050 ~ 800150 ~ 800150 ~ 105050 ~ 80050 ~ 20050 ~ 800100 ~ 5501,200 ~ 9001,200 ~ 2,0001,000 ~ 9001,000 ~ 160050 ~ 40050 ~ 30050 ~ 70050 ~ 600
                                                                              Max. Transportable Mass Range (Horizontal)(kg)2,1 à 5,0 / 5,1 à 10,02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,00 à 2.0 / 2,1 à 5,02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,0 / 10,1 à 20,0 / 20,1 à 50,05,1 à 10,05,1 à 10,02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,00 à 2.00 à 2.0 / 2,1 à 5,02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,05,1 à 10,00 à 2.0 / 2,1 à 5,02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,02,1 à 5,02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,0 / 10,1 à 20,0 / 20,1 à 50,05,1 à 10,0 / 10,1 à 20,05,1 à 10,0 / 10,1 à 20,00 à 2.02,1 à 5,05,1 à 10,00 à 2.0 / 2,1 à 5,0 / 5,1 à 10,05,1 à 10,0 / 10,1 à 20,00 à 2.0 / 2,1 à 5,0 / 5,1 à 10,05,1 à 10,010,1 à 20,020,1 à 50,05,1 à 10,05,1 à 10,0 / 10,1 à 20,05,1 à 10,05,1 à 10,02,1 à 5,05,1 à 10,02,1 à 5,05,1 à 10,05,1 à 10,0 / 20,1 à 50,010,1 à 20,05,1 à 10,0 / 10,1 à 20,05,1 à 10,0 / 10,1 à 20,0
                                                                              Max. Transportable Mass (Horizontal)(kg)2.4 ~ 8.25 ~ 101 ~ 53 ~ 231062.4 ~ 8.20.75 ~ 22 ~ 44 ~ 10102 ~ 44 ~ 1053 ~ 237 ~ 2010 ~ 2015101 ~ 67 ~ 151 ~ 86 ~ 812306 ~ 810 ~ 2010105103 ~ 5109 ~ 30157.5 ~ 157.5 ~ 15
                                                                              Max. Transportable Mass Range (Vertical)(kg)-0 à 2.0 / 2,1 à 5,00 à 2.0 / 2,1 à 5,00 à 2.0 / 2,1 à 5,02,1 à 5,0--0 à 2.00 à 2.00 à 2.0-0 à 2.00 à 2.0-0 à 2.0 / 2,1 à 5,0 / 5,1 à 10,02,1 à 5,02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,00 à 2.0--0 à 2.00 à 2.0 / 2,1 à 5,00 à 2.0 / 2,1 à 5,00 à 2.0--0 à 2.02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,02,1 à 5,02,1 à 5,0----0 à 2.0 / 2,1 à 5,0 / 5,1 à 10,0 / 10,1 à 20,0 / 20,1 à 50,05,1 à 10,02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,02,1 à 5,0 / 5,1 à 10,0
                                                                              Max. Transportable Mass (Vertical)(kg)-0.5 ~ 40.25 ~ 51.5 ~ 54--0.25 ~ 1.51 ~ 21 ~ 2-1 ~ 21 ~ 2-2 ~ 643.5 ~ 7.50.05 ~ Non vertical--0.25 ~ 1.52 ~ 50.25 ~ 2.52--24 ~ 844----2 ~ 2372.5 ~ 73.5 ~ 7
                                                                              Drive MethodVis de glissièreVis à billes rouléesVis de glissièreVis à billes rouléesVis à billes rouléesCourroiesVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesCourroiesVis à billes rouléesVis à billes rouléesCourroiesVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesMoteur linéaireCourroiesCourroiesVis de glissièreVis à billes rouléesVis de glissièreVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesCourroiesCourroiesCourroiesCourroiesVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes rouléesVis à billes roulées
                                                                              GuideNon fourniFourniFourniFourniFourniFourniNon fourniFourni--Fourni--FourniNon fourni-FourniFourniFourniFourniFourniNon fourniFourni----Non fourniFourniFourniFourniFourniFourniFourniFourniNon fourni / FourniFourniFourni
                                                                              Lead(mm)2 ~ 125 ~ 204 ~ 165 ~ 1220Équivalent à 482 ~ 124 ~ 106 ~ 126 ~ 20Équivalent à 486 ~ 126 ~ 20Équivalent 545 ~ 1220 ~ 306 ~ 12-Équivalent 54274 ~ 106 ~ 124 ~ 1612 ~ 20202012 ~ 206 ~ 122020Équivalent 5427Équivalent à 48Équivalent à 485 ~ 12---
                                                                              Input Power Supply24VDC24VDC24VDC24VDC-24VDC24VDC24VDC24VDC24VDC24VDC24VDC24VDC-24VDCMonophasé, 200 à 230VAC24VDC24VDC--24VDC24VDC24VDC24VDCMonophasé, 200 à 230VACMonophasé, 200 à 230VAC24VDC24VDC----24VDC24VDC24VDCMonophasé, 200 à 230VAC / Monophasé, 200 à 240VAC / 24/48VDC24VDC / Monophasé, 100 à 115VAC / Monophasé, 200 à 230VAC / Triphasé, 200 à 230VAC / Monophasé, 100 à 120VAC / Monophasé, 200 à 240VAC / 24/48VDCMonophasé, 100 à 115VAC / Monophasé, 200 à 230VAC / Triphasé, 200 à 230VAC / Monophasé, 200 à 240VAC / 24/48VDC
                                                                              Position Detection-IncrémentielIncrémentielIncrémentielIncrémentielIncrémentiel-IncrémentielIncrémentielIncrémentielIncrémentielIncrémentielIncrémentiel-IncrémentielIncrémentiel / AbsoluIncrémentielIncrémentielIncrémentiel / AbsoluIncrémentiel / AbsoluIncrémentielIncrémentielIncrémentielIncrémentielIncrémentiel / AbsoluIncrémentiel / AbsoluIncrémentielIncrémentielIncrémentiel / AbsoluAbsoluAbsoluAbsoluIncrémentielIncrémentielIncrémentielAbsoluAbsoluAbsolu
                                                                              I/O ModuleNPN / PNP / Non fourniNPN / PNPNPN / PNP / DeviceNet / Ethernet / Non fourni / EtherCAT / IO-Link / PROFINETNPN / PNP / Ethernet / Non fourni / EtherCAT / PROFINET-NPN / PNP / Ethernet / Non fourni / EtherCAT / PROFINETNPN / PNP / Non fourniNPN / PNP / Ethernet / Non fourni / EtherCAT / PROFINETNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / Ethernet / Non fourni / EtherCAT / PROFINETNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNet-NPN / PNP / Ethernet / Non fourni / EtherCAT / IO-Link / PROFINETNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / Non fourni--NPN / PNP / Ethernet / Non fourni / EtherCAT / PROFINETPNP / Non fourniNPN / PNP / DeviceNet / Ethernet / Non fourni / EtherCAT / PROFINETNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNetNPN / PNP / CC-Link / DeviceNet----NPN / PNP / Ethernet / Non fourni / EtherCAT / PROFINETNPN / PNP / Ethernet / Non fourni / PROFINETNPN / PNP / Ethernet / Non fourni / PROFINETNon fourniNon fourniNon fourni
                                                                              Table Width W1(mm)-39.4 ~ 5032.2 ~ 60-5061-19 ~ 24415050.4 ~ 87.4415050-80-4950105--32 ~ 6152808052-5050501055672.439.4 ~ 50-25 ~ 6454
                                                                              BrakeNon fourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourniNon fourni / FourniNon fourniNon fourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourniNon fourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourniNon fourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / FourniNon fourni / Fourni
                                                                              Max. Thrust Force Range(N)0 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 1000 à 100
                                                                              Max. Thrust Force(N)24 ~ 8049 ~ 987.5 ~ 10030 ~ 749858.824 ~ 8010 ~ 5045 ~ 9027 ~ 909845 ~ 9027 ~ 904930 ~ 7456 ~ 8475 ~ 1002.5 ~ 6499810 ~ 5035 ~ 727.5 ~ 10036 ~ 60848436 ~ 6075 ~ 1009898499829.4 ~ 499888.2 ~ 2947025 ~ 7043 ~ 86
                                                                              Noise FiltersNon fourniNon fourni / FourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourni--Non fourni--Non fourniNon fourniNon fourni / Fourni-Non fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourni-Non fourni / FourniNon fourni / Fourni--Non fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourniNon fourni
                                                                              Table Length L1(mm)-72 ~ 10288.5 ~ 316.5-10278-76.4 ~ 113.25870705870102-78-60 ~ 150102160--110.5 ~ 285907815490-10210210216064 ~ 827072 ~ 102-45 ~ 6572
                                                                              Environnement de fonctionnementStandardStandardStandard / Anti-poussièreStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardAnti-poussièreStandard / Anti-poussièreStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandardStandard
                                                                              Positioning Repeatability(µm)-±15 ~ ±20±50±20±10 ~ ±20±80-±50±20±20±80±20±20±60±20±10±20±5 ~ ±90±60±40±50±20±50±20±20±10±20±20±10 ~ ±20±20±60±40±80±80±20---
                                                                              Maximum Velocity(mm/sec)33 ~ 2001,000 ~ 800200 ~ 400250 ~ 5001,200 ~ 5501,00033 ~ 200150 ~ 350300 ~ 600300 ~ 10002000300 ~ 600300 ~ 10002000250 ~ 5001200 ~ 1800250 ~ 50040020002000150 ~ 350200 ~ 400150 ~ 400600 ~ 100012001200600 ~ 1000250 ~ 5001,200 ~ 9001,200 ~ 900200020001,000 ~ 5001,000250 ~ 500600300 ~ 800300 ~ 800

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